【字彙解釋】

plasma etch 電漿蝕刻

plasma

n. 血漿, 乳漿, 原生質, (物)等離子體, 等離子區

etch

vt. 在…上蝕刻, 蝕鏤 vi. 蝕刻 n. 腐蝕劑, 蝕刻


【前後詞彙】

plasma-emission-controlled 電漿光譜閉迴路控制
plasma-enhanced chemical vapor deposition 電漿增強化學氣相沉積
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δ~
λ~
ｗ~
plasma etch 電漿蝕刻
plasma flow 電漿流
plasma generation 電漿產生
plasma hydrogenation 電漿氫化
plasma nitridation 電漿氮化