【字彙解釋】

substrate cleaning 基板清洗

substrate

n. 底土, 下層土壤, 地基, 基礎, 基質, 下層社會

cleaning

n. 淨化 a. 清淨的


【前後詞彙】

substitution (method of) measurement 替代量測(法)
substitution reaction 取代反應
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substrate cleaning 基板清洗
substrate fabrication 基板製程
substrate integrated waveguide 基板整合波導
substrate integrated waveguide cavity 基板整合波導腔體
substrate integrated waveguide slot array 基板整合波導槽陣列