Plasma CVD



【字彙解釋】

Plasma CVD 電漿化學氣相沈積

Plasma

n. 血漿, 乳漿, 原生質, (物)等離子體, 等離子區

CVD

n. 化學氣相沉積


【前後詞彙】

plasma cleaning 電漿清洗
plasma converter 電漿轉換器
[~
δ~
λ~
w~
Plasma CVD 電漿化學氣相沈積
plasma decomposition 電漿分解
plasma density 電漿密度
plasma electron density 電漿電子密度
plasma enhanced atomic layer deposition 電漿增強型原子層沉積

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