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2021年科技名詞
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P字彙
plasma
Plasma CVD
【字彙解釋】
Plasma CVD 電漿化學氣相沈積
Plasma
n. 血漿, 乳漿, 原生質, (物)等離子體, 等離子區
CVD
n. 化學氣相沉積
【前後詞彙】
plasma cleaning
電漿清洗
plasma converter
電漿轉換器
[~
δ~
λ~
w~
Plasma CVD
電漿化學氣相沈積
plasma decomposition
電漿分解
plasma density
電漿密度
plasma electron density
電漿電子密度
plasma enhanced atomic layer deposition
電漿增強型原子層沉積
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