【字彙解釋】

plasma enhanced atomic layer deposition 電漿增強型原子層沉積

plasma

n. 血漿, 乳漿, 原生質, (物)等離子體, 等離子區

enhanced

adj. 增強的, 提高的, 放大的

atomic

adj. 原子的, 原子能的, 極微的

layer

n. 層, 放置者, 鋪設者, 產卵雞 vt. 分層堆積

deposition

n. 廢黜, 廢位, 罷免, 免職, 宣誓作證, 沈澱, 沉積


【前後詞彙】

plasma electron density 電漿電子密度
plasma-emission-controlled 電漿光譜閉迴路控制
[~
δ~
λ~
ｗ~
plasma enhanced atomic layer deposition 電漿增強型原子層沉積
plasma enhanced chemical vapor deposition 電漿增強化學氣相沉積
plasma enhanced chemical vapor disposition 電漿輔助化學氣相沉積
plasma etch 電漿蝕刻
plasma flow 電漿流