【字彙解釋】

oxygen plasma etching 氧電漿蝕刻

oxygen

n. 氧, 氧氣

plasma

n. 血漿, 乳漿, 原生質, (物)等離子體, 等離子區

etching

n. 蝕刻版畫, 蝕刻畫, 蝕刻術, 蝕刻


【前後詞彙】

oxygen plasma assisted wafer bonding 氧電漿輔助晶圓接合
oxygen-containing monomer 含氧單體
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oxygen plasma etching 氧電漿蝕刻
oxygen plasma treatment 氧電漿處理
oxygen pressure 氧壓力
oxygen pumping cells 氧泵電池
oxygen radical 氧基