【字彙解釋】

oxygen plasma 氧電漿

oxygen

n. 氧, 氧氣

plasma

n. 血漿, 乳漿, 原生質, (物)等離子體, 等離子區


【前後詞彙】

oxygen partial pressure 氧分壓
oxygen-containing monomer 含氧單體
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oxygen plasma 氧電漿
oxygen plasma assisted wafer bonding 氧電漿輔助晶圓接合
oxygen plasma etching 氧電漿蝕刻
oxygen plasma treatment 氧電漿處理
oxygen pressure 氧壓力